下载高压PMOS晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:3176645

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种高压PMOS晶体管及其制造方法,可解决高压PMOS晶体管的击穿电压和饱和电流之间无法同时取得较高性能的矛盾。所述制造方法包括:进行高压N阱和P型埋沟离子注入;进行轻掺杂的P型扩散区离子注入;进行栅氧化层的淀积;进行N型掺杂的...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。