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本发明公开了一种高压PMOS晶体管及其制造方法,可解决高压PMOS晶体管的击穿电压和饱和电流之间无法同时取得较高性能的矛盾。所述制造方法包括:进行高压N阱和P型埋沟离子注入;进行轻掺杂的P型扩散区离子注入;进行栅氧化层的淀积;进行N型掺杂的...该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种高压PMOS晶体管及其制造方法,可解决高压PMOS晶体管的击穿电压和饱和电流之间无法同时取得较高性能的矛盾。所述制造方法包括:进行高压N阱和P型埋沟离子注入;进行轻掺杂的P型扩散区离子注入;进行栅氧化层的淀积;进行N型掺杂的...