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本发明提供一种用于表征器件自加热的结构和方法。本方法包括确定给定器件的多晶栅极温度和确定监测器件的沟道温度。本方法还包括外推所述监测器件的沟道温度以获得所述给定器件的沟道温度。基于所述多栅极温度和所述沟道温度确定所述给定器件的温度差（△Ｔ值...该专利属于王平川;G.拉罗莎;K.W.克尔芬巴赫;P.A.海德所有，仅供学习研究参考，未经过王平川;G.拉罗莎;K.W.克尔芬巴赫;P.A.海德授权不得商用。