下载复合半导体基板及其制造方法及使用其的复合半导体器件的技术资料

文档序号:3175940

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本发明涉及一种复合半导体基板以及制造该基板的方法。本发明提供的制造方法包括:将球形球涂敷在基板上;在球形球之间形成金属层;去除球形球以形成开口;以及从开口生长复合半导体层。根据本发明,与传统的ELO(横向外延过生长)法或用于在金属层上形成复...
该专利属于斯尔瑞恩公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯尔瑞恩公司授权不得商用。

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