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复合半导体基板及其制造方法及使用其的复合半导体器件技术
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文档序号:3175940
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本发明涉及一种复合半导体基板以及制造该基板的方法。本发明提供的制造方法包括:将球形球涂敷在基板上;在球形球之间形成金属层;去除球形球以形成开口;以及从开口生长复合半导体层。根据本发明,与传统的ELO(横向外延过生长)法或用于在金属层上形成复...
该专利属于斯尔瑞恩公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯尔瑞恩公司授权不得商用。
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