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一种钌合金溅射靶，通过将钌粉末和比钌更容易形成氧化物的金属粉末的混合粉末烧结而得到，其中，除气体成分外的靶纯度为９９．９５重量％以上，含有５原子％至６０原子％的比钌更容易形成氧化物的金属，相对密度为９９％以上，作为杂质的氧含量为１０００ｐｐ...
该专利属于日矿金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日矿金属株式会社授权不得商用。

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