下载高压非对称横向结构扩散型场效应管的制作方法的技术资料

文档序号:3175804

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种高压非对称横向结构扩散型场效应管的制作方法,它可以保证有源区和沟道的导通,从而保证了整个非对称高压横向结构扩散型场效应管的有效性。它包括如下步骤:第一步,多晶硅刻蚀;第二步,N型低掺杂源漏注入;第三步,P型低掺杂源漏光罩及P...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。