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本实用新型揭示了磨抛一体平坦化加工装置，包括工件主轴及一组磨具主轴，工件主轴及每个磨具主轴连接驱动其自转的机构，工件主轴和/或每个磨具主轴连接进给驱动装置，工件主轴可移动至与每个磨具主轴共轴或轴线平行且相对端面局部重合，每个磨具主轴相对工件...
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