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本发明涉及一种具有转动型加热器的化学气相沉积（ＣＶＤ）装置。具体地，本发明的ＣＶＤ装置的有益效果在于，其包括用于转动加热器的马达和用于检测加热器的指向位置的位置传感器组件，使得在沉积时沉积在晶片上的薄膜能够通过加热器的转动而形成一致的厚度，...
该专利属于株式会社EUGENE科技所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社EUGENE科技授权不得商用。

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