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具有对准标记的图案模板及其制造方法技术
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下载具有对准标记的图案模板及其制造方法的技术资料
文档序号:3175560
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本发明提供了一种图案模板及其制造方法,该图案模板包括柔性基底、形成在柔性基底上并包括图案的模板模子和对准标记,对准标记的折射率大于模板模子的折射率。通过提供包括图案区的主模板、在图案区涂覆用于模子的树脂、通过在用于模子的树脂上安装柔性板并通...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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