温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种ＢＤ控挡片的回收利用方法，它可以提高ＢＤ控挡片的回收率。它包括如下步骤：第一步，对ＢＤ控挡片进行单晶元湿法刻蚀；第二步，进行干法灰化；第三步，对ＢＤ控挡片再次进行单晶元湿法刻蚀。...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。