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本发明公开了一种化学机械抛光头和抛光系统，所述化学机械抛光头包括联轴盘、承载盘、弹性膜和保持环，所述承载盘通过连接膜与所述联轴盘固定，所述弹性膜通过固定压环安装于所述承载盘的底部，所述保持环设置于所述弹性膜的外周侧并位于承载盘的底部；还包括...
该专利属于华海清科（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科（北京）科技有限公司授权不得商用。

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