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本发明涉及一种显示装置，包括薄膜晶体管，该薄膜晶体管使用通过激光使非晶硅膜结晶化的多晶硅膜，其中在显示品质这点上，就必须减少基板面内的多晶硅膜粒径的偏差。但是，在光学方式管理多晶硅膜的表面的凹凸的方法中，仅能够把握极微小级别的偏差。根据本发...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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