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一种CVD装置，包括外腔体、外腔盖，外腔体内部设置有内反应腔A、内反应腔B以及内反应腔C；外腔盖上设置有蜗杆减速机、伺服减速电机、升降装置、升降架以及花键轴，蜗杆减速机设置在外腔盖上，伺服减速电机与蜗杆减速机固定连接，升降装置为两个，两个升...
该专利属于湘潭大学所有，仅供学习研究参考，未经过湘潭大学授权不得商用。

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