下载制作半导体器件的方法和通过该方法获得的半导体器件的技术资料

文档序号:3175093

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本发明涉及一种制作半导体器件(10)的方法,该半导体器件包括衬底(11)和半导体本体(12),其中在半导体本体中形成至少一个半导体元件(1),其中在衬底(11)上形成半导体层(2),该半导体层包括硅和锗的混晶,进一步称之为硅-锗层(2)并且...
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