下载制作邻接接触体的半导体制造工艺与半导体装置的技术资料

文档序号:3175067

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本发明提出一种制作邻接接触体的半导体制造工艺,包含以下步骤:提供一基体,此基体上具有至少两个邻接的晶体管栅极;对该两晶体管栅极间的区域,全面进行斜角度离子植入,形成第一传导型的淡掺杂区;在该两晶体管栅极间的区域,形成第一传导型和第二传导型的...
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