专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
立锜科技股份有限公司
>
制作邻接接触体的半导体制造工艺与半导体装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载制作邻接接触体的半导体制造工艺与半导体装置的技术资料
文档序号:3175067
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提出一种制作邻接接触体的半导体制造工艺,包含以下步骤:提供一基体,此基体上具有至少两个邻接的晶体管栅极;对该两晶体管栅极间的区域,全面进行斜角度离子植入,形成第一传导型的淡掺杂区;在该两晶体管栅极间的区域,形成第一传导型和第二传导型的...
该专利属于立锜科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过立锜科技股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。