下载CMOS图像传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:3174999

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一种CMOS图像传感器的制造方法包括,在半导体衬底上形成外延层,该外延层包括像素区和逻辑区,在该外延层上的绝缘层中形成STI层,在该绝缘层上形成多个阱和具有间隔件的栅极图案,采用离子注入方法在该绝缘层中形成多个源极区和多个漏极区,在该像素区...
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