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本发明提供了一种基于ＳＯＩ技术的集成微传感器的制备方法，属于微机电系统和集成电路技术领域。该方法基于Ｐｏｓｔ－ＣＭＯＳ或Ｉｎｔｅｒｍｅｄｉａｔｅ－ＣＭＯＳ工艺，利用ＳＯＩ　　ＣＭＯＳ工艺和ＳＯＩ微机械加工技术，在ＳＯＩ硅片上实现微传感器阵列...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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