温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种形成用于动态随机存取存储器的电容器结构的方法。该方法包括形成覆盖半导体衬底；形成覆盖器件层的第一层间电介质；形成第一层间电介质层内的通孔结构；形成覆盖第一层间电介质层的第一氧化物层；形成覆盖第一氧化物层的阻挡层；形成覆盖第一阻挡层的第二...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。