下载半导体光电组件及其切割方法的技术资料

文档序号:3174610

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一种半导体光电组件的切割方法,其是包括以下的步骤:准备半导体光电组件芯片:该半导体光电组件芯片是包含有一基板,于基板表面形成有一外延硅层;镭射划线:以镭射于半导体光电组件芯片表面划设导引沟槽;钻石刀切割:以钻石刀于沟槽中进行切割;形成半导体...
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