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本实用新型公开了一种晶圆高精度自动供料装置，其包括升降模组、受升降模组驱动进行上下运动的提篮单元、与提篮单元输出端对接的左右定心对接单元、将晶圆模组从提篮单元中拉出至左右定心对接单元上的夹持移载机构；左右定心对接单元包括第二驱动件、受第二驱...
该专利属于瑟福迪恩半导体设备技术（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑟福迪恩半导体设备技术（苏州）有限公司授权不得商用。

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