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一种消除CuxO电阻存储器形成电压的方法技术
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文档序号:3174124
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本发明属微电子技术领域,具体是一种消除Cu↓[x]O电阻存储器形成电压的方法。生长完Cu↓[x]O存储介质后,在N↓[2]、Ar、forming gas或真空等缺氧气氛中进行退火,表层CuO会由于缺氧而被还原成Cu↓[2]O,从而消除存储...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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