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一种原位清洗半导体机台的物镜的方法。在进行清洗工艺时，仅需将具有洁净膜的清洗片放置在扫瞄支座上，通过溶剂溶解洁净膜中的洁净成分，使洁净成分与物镜上的污染物反应，再由浸润式光刻系统中的液体（水）冲洗物镜，即可将物镜清洗干净。...
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