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通过使用常压等离子体形成第Ⅲ族氮化物如ＧａＮ的薄膜。将反应室（１２）充满在约４０ｋＰａ的接近常压下的纯氮。将ｃ－面蓝宝石衬底（９０）置于电极（１４）上。通过加热器（１５）使衬底温度达到６５０℃。在电极（１３，１４）之间施加电场以形成放电空间...
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