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本发明提供了一种带电粒子发射器的夹取装置，包括夹取组件和支撑座组件，所述支撑座组件包括套设于夹取组件外部的支撑座及套设于支撑座外部的第一弹性件，其中，所述第一弹性件设置在所述夹取组件和支撑座之间，用于在其受力压缩后提供回复力；所述夹取组件与...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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