一种带电粒子发射器的夹取装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种带电粒子发射器的夹取装置，包括夹取组件和支撑座组件，所述支撑座组件包括套设于夹取组件外部的支撑座及套设于支撑座外部的第一弹性件，其中，所述第一弹性件设置在所述夹取组件和支撑座之间，用于在其受力压缩后提供回复力；所述夹取组件与所述支撑座滑动连接。本发明专利技术提供的夹取装置，将夹取组件与支撑座滑动连接，夹取组件相对于支撑座沿预设方向滑动，以使夹取组件沿预设方向夹取带电粒子发射器，保证了带电粒子发射器夹取时的稳定性，有利于保护带电粒子发射器；同时，设置第一弹性件以使夹取组件在夹取带电粒子发射器之后，使带电粒子发射器复位并至少部分收容于支撑座内，进一步起到了保护带电粒子发射器的作用。射器的作用。射器的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种带电粒子发射器的夹取装置


[0001]本专利技术涉及半导体
，更具体涉及一种带电粒子发射器的夹取装置。

技术介绍

[0002]带电粒子束设备是半导体行业中常用的一种设备，其可以为扫描电子显微镜或者聚焦离子束，但不限于此，而带电粒子发射器是带电粒子束设备的一个重要部件，需要根据使用情况更换。首先需要从带电粒子束设备的发射器载台上夹取出待更换的带电粒子发射器，取出后使带电粒子发射器从夹取装置上脱离，再从储存盒(相当于发射器载台)中夹取新的带电粒子发射器，并安装在带电粒子束设备的发射器载台上。
[0003]在现有技术中，工程师常采用镊子作为夹取装置，以手动夹取的方式来进行操作，操作简单便捷，但是这种操作方式无法保证取出过程的稳定性，易产生磕碰，损坏带电粒子发射器，造成较大的损失。
[0004]有鉴于此，有必要对现有技术中的带电粒子发射器的夹取装置予以改进，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于公开一种带电粒子发射器的夹取装置，解决了现有的夹取方式因稳定性较弱而导致带电粒子发射器容易损本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带电粒子发射器的夹取装置，其特征在于，包括：夹取组件，用于夹取带电粒子发射器；支撑座组件，包括套设于夹取组件外部的支撑座及套设于支撑座外部的第一弹性件，其中，所述第一弹性件设置在所述夹取组件和支撑座之间，用于在所述第一弹性件受力压缩后提供回复力，所述夹取组件与所述支撑座滑动连接。2.根据权利要求1所述的带电粒子发射器的夹取装置，其特征在于，所述支撑座的一端凸设用于对夹取装置进行支撑的支撑部。3.根据权利要求1所述的带电粒子发射器的夹取装置，其特征在于，所述夹取装置还包括与所述夹取组件固定连接的第一定位件及设置于所述支撑座侧部的第一滑槽，所述第一定位件与所述第一滑槽滑动连接以将所述夹取组件与所述支撑座滑动连接。4.根据权利要求3所述的带电粒子发射器的夹取装置，其特征在于，设置至少两个所述第一定位件，至少两个所述第一定位件相对于所述夹取组件的纵向轴线呈几何对称设置。5.根据权利要求1所述的带电粒子发射器的夹取装置，其特征在于，所述夹取装置还包括用于推离所述带电粒子发射器的推杆组件，所述推杆组件设置于所述夹取组件内侧。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：王朗，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：