本发明专利技术提供了一种带电粒子发射器的夹取装置，包括夹取组件和支撑座组件，所述支撑座组件包括套设于夹取组件外部的支撑座及套设于支撑座外部的第一弹性件，其中，所述第一弹性件设置在所述夹取组件和支撑座之间，用于在其受力压缩后提供回复力；所述夹取组件与所述支撑座滑动连接。本发明专利技术提供的夹取装置，将夹取组件与支撑座滑动连接，夹取组件相对于支撑座沿预设方向滑动，以使夹取组件沿预设方向夹取带电粒子发射器，保证了带电粒子发射器夹取时的稳定性，有利于保护带电粒子发射器；同时，设置第一弹性件以使夹取组件在夹取带电粒子发射器之后，使带电粒子发射器复位并至少部分收容于支撑座内，进一步起到了保护带电粒子发射器的作用。射器的作用。射器的作用。
【技术实现步骤摘要】
一种带电粒子发射器的夹取装置
[0001]本专利技术涉及半导体
，更具体涉及一种带电粒子发射器的夹取装置。
技术介绍
[0002]带电粒子束设备是半导体行业中常用的一种设备，其可以为扫描电子显微镜或者聚焦离子束，但不限于此，而带电粒子发射器是带电粒子束设备的一个重要部件，需要根据使用情况更换。首先需要从带电粒子束设备的发射器载台上夹取出待更换的带电粒子发射器，取出后使带电粒子发射器从夹取装置上脱离，再从储存盒(相当于发射器载台)中夹取新的带电粒子发射器，并安装在带电粒子束设备的发射器载台上。
[0003]在现有技术中，工程师常采用镊子作为夹取装置，以手动夹取的方式来进行操作，操作简单便捷，但是这种操作方式无法保证取出过程的稳定性，易产生磕碰，损坏带电粒子发射器，造成较大的损失。
[0004]有鉴于此，有必要对现有技术中的带电粒子发射器的夹取装置予以改进，以解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于公开一种带电粒子发射器的夹取装置，解决了现有的夹取方式因稳定性较弱而导致带电粒子发射器容易损坏的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了一种带电粒子发射器的夹取装置，包括：夹取组件，用于夹取带电粒子发射器；
[0007]支撑座组件，包括套设于夹取组件外部的支撑座及套设于支撑座外部的第一弹性件，其中，所述第一弹性件设置在所述夹取组件和支撑座之间，用于在所述第一弹性件受力压缩后提供回复力，所述夹取组件与所述支撑座滑动连接。
[0008]作为本专利技术的进一步改进，所述支撑座的一端凸设用于对夹取装置进行支撑的支撑部。
[0009]作为本专利技术的进一步改进，所述夹取装置还包括与所述夹取组件固定连接的第一定位件及设置于所述支撑座侧部的第一滑槽，所述第一定位件与所述第一滑槽滑动连接以将所述夹取组件与所述支撑座滑动连接。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，设置至少两个所述第一定位件，至少两个所述第一定位件相对于所述夹取组件的纵向轴线呈几何对称设置。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，所述夹取装置还包括用于推离所述带电粒子发射器的推杆组件，所述推杆组件设置于所述夹取组件内侧。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，所述推杆组件包括推杆及第二定位件，所述推杆的侧部设置第二滑槽，所述第二定位件与所述夹取组件固定连接，所述第二定位件与所述第二滑槽滑动连接以将所述推杆与所述夹取组件滑动连接。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，所述推杆组件包括第二弹性件，所述第二弹性件设置
在所述推杆及所述夹取组件之间，用于在所述第二弹性件受力压缩后提供回复力。
[0014]作为本专利技术的进一步改进，所述推杆组件包括推杆，所述推杆包括主杆体和与所述主杆体连接的推压部，所述推压部的径向尺寸小于所述主杆体的径向尺寸。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，所述夹取组件的夹持端面凹设用于夹取所述带电粒子发射器的孔状结构，所述夹持端面开设贯穿所述孔状结构的夹持槽，以对所述带电粒子发射器提供夹持力。
[0016]作为本专利技术的进一步改进，所述夹取组件上还凸设限位结构，用于所述夹取组件在所述支撑座组件中进行限位。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0018]本专利技术提供的一种带电粒子发射器的夹取装置，将夹取组件与支撑座滑动连接，夹取组件相对于支撑座沿预设方向滑动，以使夹取组件沿预设方向夹取带电粒子发射器，保证了带电粒子发射器夹取时的稳定性，有利于避免磕碰的产生，可以保护带电粒子发射器；
[0019]同时，本专利技术提供的一种带电粒子发射器的夹取装置，还设置了套设于夹取组件外部的支撑座及套设于支撑座外部的第一弹性件，使得夹取组件在夹取带电粒子发射器之后，可通过第一弹性件的回复力带动带电粒子发射器复位并至少部分收容于支撑座内，进一步起到了保护带电粒子发射器的作用。
附图说明
[0020]图1为一种带电粒子发射器的夹取装置的立体示意图；
[0021]图2为图1的夹取装置的另一视角的立体示意图；
[0022]图3为图2的夹取装置的分解示意图；
[0023]图4为图3的夹取组件中第一定位销的连接示意图；
[0024]图5为图3的夹取装置中夹持部的示意图；
[0025]图6为采用图1的夹取装置进行夹取应用的示意图；
[0026]图7为采用图1的夹取装置进行夹取后发射器收容于支撑座内的示意图；
[0027]图8为采用图1的夹取装置的推杆组件进行推离动作的示意图。
具体实施方式
[0028]下面结合附图所示的各实施方式对本专利技术进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本专利技术的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本专利技术的保护范围之内。
[0029]需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”、“正方向”、“负方向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术方案和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术方案的限制。
[0030]参图1至图8所示出的本专利技术的一种带电粒子发射器的夹取装置的一种具体实施
方式。本实施例所揭示的带电粒子发射器的夹取装置100(以下简称“夹取装置”)，包括夹取组件10，用于夹取带电粒子发射器40(以下简称“发射器”)，发射器40可以为电子束发射器或离子束发射器，但不限于此；支撑座组件30，设置于夹取组件10的外部，用以抵持于发射器载台(例如，带电离子束设备的发射器载台或者用于存储发射器的储存盒，储存盒可被认为是一种发射器载台)供夹取组件10进行夹持动作，并在夹取组件10夹取发射器40后对发射器40进行收容，以保护发射器40，降低发射器40破损的风险；推杆组件20，设置于夹取组件10的内侧，用于将夹持于夹取组件10的发射器40推离。
[0031]结合图1至图4所示，在本实施例中，夹取装置100为柱状结构，支撑座组件30、夹取组件10和推杆组件20均为柱状结构，支撑座组件30、夹取组件10和推杆组件20的纵向轴线与夹取装置100的纵向轴线200重叠或平行。在本实施例中，以支撑座组件30、夹取组件10和推杆组件20的纵向轴线与夹取装置100的纵向轴线200重叠为例，对以上各个组件之间的连接关系及其组件内的元件之间的连接关系进行具体说明。
[0032]夹取组件10包括外壳11、设置于外壳11内侧(或外侧)的夹持部12、用于固定连接夹持部12和外壳11的第一定位件。在本实施例中，外壳11和夹持部12均为柱状结构，夹持部12沿纵向轴线200连接于外壳11的内侧(或外侧)下本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带电粒子发射器的夹取装置，其特征在于，包括：夹取组件，用于夹取带电粒子发射器；支撑座组件，包括套设于夹取组件外部的支撑座及套设于支撑座外部的第一弹性件，其中，所述第一弹性件设置在所述夹取组件和支撑座之间，用于在所述第一弹性件受力压缩后提供回复力，所述夹取组件与所述支撑座滑动连接。2.根据权利要求1所述的带电粒子发射器的夹取装置，其特征在于，所述支撑座的一端凸设用于对夹取装置进行支撑的支撑部。3.根据权利要求1所述的带电粒子发射器的夹取装置，其特征在于，所述夹取装置还包括与所述夹取组件固定连接的第一定位件及设置于所述支撑座侧部的第一滑槽，所述第一定位件与所述第一滑槽滑动连接以将所述夹取组件与所述支撑座滑动连接。4.根据权利要求3所述的带电粒子发射器的夹取装置，其特征在于，设置至少两个所述第一定位件，至少两个所述第一定位件相对于所述夹取组件的纵向轴线呈几何对称设置。5.根据权利要求1所述的带电粒子发射器的夹取装置，其特征在于，所述夹取装置还包括用于推离所述带电粒子发射器的推杆组件，所述推杆组件设置于所述夹取组件内侧。6....
【专利技术属性】
技术研发人员：王朗，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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