下载肖特基型室温核辐射探测器的制备方法的技术资料

文档序号:3173607

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本发明公开了一种肖特基型室温核辐射探测器,包括以GaN基底形成的肖特基结构、肖特基电极和欧姆电极,其特征在于:所述GaN基底为厚膜结构,其厚度为100um~200um,所述肖特基电极和欧姆电极分别位于GaN基底的两侧表面上。由于本发明使用的...
该专利属于苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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