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集成半导体存储装置的制造方法及相应的半导体存储装置制造方法及图纸
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下载集成半导体存储装置的制造方法及相应的半导体存储装置的技术资料
文档序号:3173536
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一种集成半导体存储装置,包括:半导体衬底;多条有源区线,形成在半导体衬底中,每条有源区线包括具有字线接触、位线接触和节点接触的多个存储单元选择晶体管;多个填充绝缘槽,配置在有源区线之间;多个重布线带,每个都将存储单元选择晶体管的相关节点接触...
该专利属于奇梦达股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过奇梦达股份公司授权不得商用。
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