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本发明公开了一个增强薄膜硅光伏器件光吸收的方法。首先在基板上沉积一个含有纳米颗粒的超薄硅层，从而使得使用等离子体增强化学气相沉积法生成的基于氢化硅薄膜的光伏转换层的表面具有明显的粗糙性，从而使长波光以大角度的散射方式被背电极反射回光伏转换层...
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