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本发明涉及一种用于固定抛光工件的承载膜。所述承载膜包含表面衬底和缓冲衬底。所述表面衬底包含多个孔，且所述表面衬底的材料包含弹性体。所述缓冲衬底包含多个孔，且所述缓冲衬底的材料包含所述弹性体。所述表面衬底和所述缓冲衬底由包含所述弹性体的粘合剂...
该专利属于三芳化学工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三芳化学工业股份有限公司授权不得商用。

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