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本发明主要提供一种靶材,其元素组成ⅠB↓[x]-ⅢA↓[y]-ⅥA↓[z];其中,ⅠB选自于以下群组中的至少一种:Cu及Ag;ⅢA选自于以下群组中的至少一种:In及Ga;ⅥA选自于以下群组中的至少一种:S、Se及Te;x、y、z分别为ⅠB、...该专利属于光洋应用材料科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光洋应用材料科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明主要提供一种靶材,其元素组成ⅠB↓[x]-ⅢA↓[y]-ⅥA↓[z];其中,ⅠB选自于以下群组中的至少一种:Cu及Ag;ⅢA选自于以下群组中的至少一种:In及Ga;ⅥA选自于以下群组中的至少一种:S、Se及Te;x、y、z分别为ⅠB、...