下载靶材以及该靶材所制造的薄膜的技术资料

文档序号:3173337

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本发明主要提供一种靶材,其元素组成ⅠB↓[x]-ⅢA↓[y]-ⅥA↓[z];其中,ⅠB选自于以下群组中的至少一种:Cu及Ag;ⅢA选自于以下群组中的至少一种:In及Ga;ⅥA选自于以下群组中的至少一种:S、Se及Te;x、y、z分别为ⅠB、...
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