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本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，能够减少压送处理液用泵的故障以及设置在循环路径上的过滤器的筛眼堵塞，并能够防止薄膜再次附着在基板上。将从喷淋喷嘴（１１、１２）供给到基板（Ｗ）上并对处理膜进行溶解从而含有薄膜的处理液回收之后，将此处...
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