下载半导体构造、存储器阵列、电子系统和形成半导体构造的方法的技术资料

文档序号:3173040

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本发明包含具有带沟槽隔离区的半导体构造。所述带沟槽隔离区的沟槽可包含较窄底部和位于所述底部上方的较宽上部。电绝缘材料可填充所述较宽上部,同时在所述较窄底部内留下空洞。所述底部可具有大致垂直的侧壁,并且可在从所述侧壁大致垂直地延伸的台阶处接合...
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