下载形成包括不连续存储元件的电子器件的工艺的技术资料

文档序号:3173000

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一种形成电子器件的工艺可以包括:在衬底(12)中形成第一沟槽(22,23),其中沟槽包括壁和底部并从衬底主表面延伸。该工艺还可以包括形成不连续存储元件(64)以及在沟槽中形成第一栅电极(92)以使得不连续存储元件的第一不连续存储元件位于第一...
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