下载应变SOI衬底的制造方法和在其上制造CMOS器件的方法的技术资料

文档序号:3172816

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本发明提供一种有成本效益、简单的制造应变绝缘体上半导体(SSOI)结构的方法,该方法无需外延生长和后续的晶片结合工艺步骤。依据本发明,应变记忆技术被用于在SOI衬底上形成应变半导体区域。由于Si区是应变的,在应变半导体区域上形成的晶体管具有...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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