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振动装置和振动控制方法制造方法及图纸
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文档序号:31726114
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本发明提供一种能够高效地清洗附着于透光体盖的异物的振动装置和振动控制方法。该振动装置具备:透光体盖;喷出部,其向透光体盖的表面喷出液体;以及第1振动部,其使透光体盖以大于8.0
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该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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