下载有源元件阵列基板及其制造方法的技术资料

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一种有源元件阵列基板及其制造方法,本发明通过形成图案化第一金属层、绝缘层、图案化半导体层、与图案化金属复层等,作为阵列基板中的薄膜晶体管、栅极导线、栅极连接焊盘、数据导线、数据连接焊盘及存储电极等元件,并通过对特定膜层部分进行选择性蚀刻步骤...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。

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