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微系统模组芯片嵌入式封装结构及封装方法技术方案
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文档序号:31724683
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本发明提供一种微系统模组芯片嵌入式封装结构及封装方法,通过自上往下进行重新布线工艺的待封装芯片周围的光刻胶重新定形的方法,先在临时承载基底上制作重新布线结构,再将待封装芯片有芯片焊盘的一面与再布线结构上的电互连焊盘进行回流,之后再用厚膜光刻...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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