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本发明的课题在于提供可用作可实现被研磨面的平坦性和提高平坦化效率、且划伤发生少的研磨垫的高分子材料。本发明是通过在用５０℃的水饱和溶胀后在５０℃下的拉伸弹性模量为１３０－８００ＭＰａ，５０℃下的损耗角正切为０．２以下，与水的接触角为８０°以...
该专利属于可乐丽股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过可乐丽股份有限公司授权不得商用。

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