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一种湿法清洗工艺，适用于经过碱液或有机溶液处理的基底，此方法包括至少进行一次第一冲洗步骤，接着，再进行第二冲洗步骤。第一冲洗步骤包括以含有二氧化碳的去离子水冲洗基底，接着，将含有二氧化碳的去离子水排除，使基底暴露于充满二氧化碳的气体环境中。...
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