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本发明提供一种基板处理方法。把装在处理室内的基板放置在支撑阳极上。然后将处理室与外部隔断，并把处理室内部的压力增加到既定压力。在既定压力下使基板的温度稳定在一定温度，再把处理室内的压力减小到处理压力。一旦在处理室内完成对基板的处理，就把基板...
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