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薄膜元件的制造方法技术
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文档序号:3172202
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本发明涉及一种薄膜元件的制造方法,其特征在于以下步骤:在由不同于第一种材料的第二种材料形成的一支撑体(2)的结晶层(2)上外延生长第一种材料的结晶层(4),所述第一种材料层(4)其厚度使其晶格参数由支撑体(2)结晶层(2)的晶格参数决定;在...
该专利属于原子能委员会所有,仅供学习研究参考,未经过原子能委员会授权不得商用。
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