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布线结构及其形成方法技术
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文档序号:3172014
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本发明公开了一种布线结构及其形成方法。根据本发明一个实施例,通过自接触块的相对面朝彼此的相对面生长多个CNT来形成CNT束;以及,通过接触所述多个CNT使它们相交,以实现彼此的电连接。随后,以金属材料填充电连接后的CNT束的间隙,因此形成为...
该专利属于富士通株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通株式会社授权不得商用。
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