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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3171640
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本发明的目的在于,提供一种利用粘接剂将电子部件安装(例如,倒装芯片安装)到衬底,而且抑制在该粘接剂内部产生气泡的高性能且高可靠性的半导体器件及其低成本且高效率的制造方法。本发明半导体器件的制造方法至少包括:供给工序,向所述衬底10上的至少一...
该专利属于富士通微电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通微电子株式会社授权不得商用。
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