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本发明提供热处理装置，其中，控制部包括：规则表，使处理气氛升温到目标值时的温度特性项目的预测变化量和ＰＩＤ常数的变化率对应而生成；执行机构，反复执行根据温度检测部的温度检测值取得温度曲线，根据该温度曲线，求取温度特性项目的实测值和目标值的差...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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