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一种LDMOS器件及其形成方法,其中方法包括:在所述深阱区表面形成场氧层,沿所述第一方向上,所述场氧层包括场氧区和位于所述场氧区一端的鸟嘴区,且所述鸟嘴区位于所述第一扩散区表面,部分所述场氧区位于所述第二扩散区表面,所述场氧层在沿所述第一方...该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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一种LDMOS器件及其形成方法,其中方法包括:在所述深阱区表面形成场氧层,沿所述第一方向上,所述场氧层包括场氧区和位于所述场氧区一端的鸟嘴区,且所述鸟嘴区位于所述第一扩散区表面,部分所述场氧区位于所述第二扩散区表面,所述场氧层在沿所述第一方...