温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例公开了一种用于制造掺氮单晶硅的设备及方法，所述设备可以包括：石英坩埚，所述石英坩埚用于容纳掺氮硅熔体；第一输气装置，所述第一输气装置用于将一氧化碳气体输送至所述掺氮硅熔体的液面处；拉晶装置，所述拉晶装置用于利用所述掺氮硅熔体通过...
该专利属于西安奕斯伟材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。