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清洁片材,附有清洁功能的输送构件及基板处理装置的清洁方法制造方法及图纸
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下载清洁片材,附有清洁功能的输送构件及基板处理装置的清洁方法的技术资料
文档序号:3170964
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本发明提供一种附有清洁功能的输送构件,其异物除去性能及输送性能优异,且可特别有效地除去具有特定粒径的异物。本发明的附有清洁功能的输送构件具有输送构件(50)、及在该输送构件的至少一面所设置的清洁层(20)。清洁层的算术平均粗糙度Ra为0.0...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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