下载清洁片材,附有清洁功能的输送构件及基板处理装置的清洁方法的技术资料

文档序号:3170964

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本发明提供一种附有清洁功能的输送构件,其异物除去性能及输送性能优异,且可特别有效地除去具有特定粒径的异物。本发明的附有清洁功能的输送构件具有输送构件(50)、及在该输送构件的至少一面所设置的清洁层(20)。清洁层的算术平均粗糙度Ra为0.0...
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