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本实用新型提供一种用于传送花篮的传输装置,涉及硅片制备领域。该传输装置包括:传送带,用于传送花篮并具有用于承载花篮的承载面;下压件,与承载面抵接,用于将传送带的部分下压,以形成避让空间;翻转机构,翻转机构的下端在第一位置和第二位置之间连续运...该专利属于深圳市创一智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市创一智能装备有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种用于传送花篮的传输装置,涉及硅片制备领域。该传输装置包括:传送带,用于传送花篮并具有用于承载花篮的承载面;下压件,与承载面抵接,用于将传送带的部分下压,以形成避让空间;翻转机构,翻转机构的下端在第一位置和第二位置之间连续运...