下载薄膜晶体管、显示面板及其制备方法的技术资料

文档序号:31705923

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本申请实施例公开了一种薄膜晶体管、显示面板及其制备方法,其中,薄膜晶体管包括:有源层、栅极绝缘层以及电极层。其中,有源层包括金属氧化物,有源层包括相邻设置的第一接触部分、半导体部分和第二接触部分;栅极绝缘层设置在有源层上,栅极绝缘层上开设有...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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