下载一种基于晶圆测试设备和MES系统的联动回收方法及系统的技术资料

文档序号:31704809

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本发明提供一种基于晶圆测试设备和MES系统的联动回收方法,该方法具体包括以下步骤:S1.测试晶圆生成测试数据,通过MES系统收集测试数据并转换为Map后上载到Map服务器;S2.移除测试机存储的被测晶圆的本地Map备份;S3.通过MES系统...
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