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本发明公开了一种非接触式硅片夹持装置。包括喷气腔、吸气腔。喷气腔进气口沿圆周切向布置，喷气腔顶部与吸气腔顶部通过螺纹配合，吸气腔的上圆柱面开有多个通气孔，吸气腔内部被隔板隔开，喷气腔内壁面和吸气腔外壁面配合形成旋转气流的流通通道，喷气腔进气...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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